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射頻RF MEMS 器件
MEMS 環行器
1）高頻段：産(chǎn)品頻段6GHz~40GHz，填補小(xiǎo)型化毫米波頻段空白；
2）高功率：采用(yòng)矽腔體(tǐ)結構，已實測結果:X、Ku頻段: 50W；Ka頻 段：20W；
3）低損耗：實測典型值0.4dB~0.5dB；
4）屏蔽性：采用(yòng)矽腔體(tǐ)封裝(zhuāng)結構，環境适應性好；
5）一緻性好：MEMS高精(jīng)度加工(gōng)，批量一緻性好；
6）其他(tā)：具(jù)有(yǒu)抗幹擾能(néng)力強、機械特性優良等特點。
MEMS 隔離器
1）高頻段：産(chǎn)品頻段6GHz~40GHz，填補小(xiǎo)型化毫米波頻段空白；
2）高功率：采用(yòng)矽腔體(tǐ)結構，已實測結果:X、Ku頻段: 50W；Ka頻 段：20W；
3）低損耗：實測典型值0.4dB~0.5dB；
4）屏蔽性：采用(yòng)矽腔體(tǐ)封裝(zhuāng)結構，環境适應性好；
5）一緻性好：MEMS高精(jīng)度加工(gōng)，批量一緻性好；
6）其他(tā)：具(jù)有(yǒu)抗幹擾能(néng)力強、機械特性優良等特點。
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